Mukaida-lab
電子ビームリソグラフィ
JSM-6500F +
SPG7
を用いて描画しました。画像をクリックすると詳細を見ることができます。
細線
ドットアレイ
ドット
サークル
フォトニック
クリスタル
本岡研究室
上沼博士が設計、JSM-6500F +
SPG7
で描画した
シリコン系光学デバイス
M. Uenuma and T. Motooka, Optics Letters, Vol.34, (2009).
M. Uenuma and T. Motooka, Design of a temperature-independent Arrayed Waveguide Grating on SOI Substrates, Proceedings of 4th IEEE Conference on Group IV Photonics (IEEE, 2007), pp.165-167.
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