電子ビームリソグラフィ

JSM-6500F + SPG7を用いて描画しました。画像をクリックすると詳細を見ることができます。

細線

ドットアレイ

ドット

サークル

フォトニック
クリスタル



本岡研究室 上沼博士が設計、JSM-6500F + SPG7で描画した
シリコン系光学デバイス

  1. M. Uenuma and T. Motooka, Optics Letters, Vol.34, (2009).
  2. M. Uenuma and T. Motooka, Design of a temperature-independent Arrayed Waveguide Grating on SOI Substrates, Proceedings of 4th IEEE Conference on Group IV Photonics (IEEE, 2007), pp.165-167.

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